도금두께측정기
- X-RAY 도막두께측정기 ROHS분석기
- iEDX-150T-uT50
X-선 발생기 : Mo/Rh/W/Ag Target(Option), 50kVp 1mA
검출기 : SDD(Silicon Drift Detector)
분해능 : 125eV FWHM at Mn Kα
X-선 조사범위 : Poly caplilary Optics (50~100㎛)
측정 범위 : Al(13) ~ U(92)
시료 형태 : Solid/Liquid/ Powder, Multi-Layer
시료 챔버 크기 : 390 × 410 × 100 mm(W × D × H)
주요특징
- Auto / Manual Stage Mode
- 일반도금.Rh, Pd, Au, Ag, Sn, Ni 두께측정
- 다층 박막 두께 측정 (최대 5층)
카메라 비율 : 40 ~ 80배
방사선 안전 차단 장치
- 자동 3중 차단 장치
- 안전설계승인 : NSSC1.30RG001.03
성적서 리포트 종류
- Excel, PDF파일 저장 / 출력
- 사용자 지정 양식
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