대기압 플라즈마
(에칭Etching/에싱Ashing)
ILP-800S / ILP40-60CDH
제품번호:701072
기막/무기막의 에칭 공정을 대기압에서 실현한 제품
디스플레이, 휴대폰, 반도체, Glass, 필름, 폴리머 등
진공 챔버에서만 가능했던 유기막/무기막의 에칭 공정을 대기압에서도 실현
대기압상태에서 플라즈마 방전을 통해 유기막의 제거 및 무기막질의 제거(에칭/애싱)
지금까지 할 수 없었던 공정을 통해 제품생산 및 불량률 감소
특징
대기압 에칭/에싱/PR 잔막제거
-. 생산 라인 변경 없이 모듈 장착. 수율 향상
응용분야
-. Over deposition metal etching
-. A-Si / Poly-Si / PI / PR ashing
-. Si / SiO2 selective etching
문의시 제품번호 701072라고 말씀해주세요!!!
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